サーパス工業のケミカルレギュレータ

サーパス工業株式会社は、半導体、FPD工場向けに供給する高純度薬品の輸送用容器に使用するコネクタや工場製造ラインでの配管部材を開発・販売および、半導体、FPD製造装置内での薬液のコントロール用として圧力センサや流量計、バルブ、レギュレータを開発し各製造工程内において高い実績のもと使用されております。

その中で、弊社ケミカルレギュレータは脈動などで不安定となった圧力を制御する製品で特長は、溶液部、スプリングに腐食性に優れた弊社独自技術を採用しております。

圧力・流量調整は、マニュアルタイプ・エアオペレートタイプとサイズ、仕様、用途に合わせてさまざまなラインナップを揃え幅広く使用でき安全性と信頼性をあわせ持った製品です。